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Schafer, H. ; Bock, J. ; Stengl, R. ; Knapp, H. ; Aufinger, K. ; Wurzer, M. ; Boguth, S. ; Rest, M. ; Schreiter, R. ; Meister, T. F.
2004년
eng
0169-4332
1873-5584
SCI;SCIE;SCOPUS
학술저널
APPLIED SURFACE SCIENCE
18-23 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
International SiGe technology and device meeting; from materials and process technology to device and circuit technology
Nagoya, Japan
2003 Jun
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