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B. Hyot ; L. Poupinet ; A. M. Papon ; M. F. Armand ; B. Rolland ; J. Marty ; A. Fargeix ; O. Lartigue ; A. Lagrange ; R. Anciant ; H. Hofmann ; S. Knappmann ; J. Knittel ; H. Richter
2003년
eng
0021-4922
1347-4065
SCI;SCIE;SCOPUS
학술저널
Japanese Journal of Applied Physics Part 1-Regular Papers Short Notes & Review Papers
3438-3441 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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Tris-diethylamino-silane decomposition due to tetrakis-diethylamido-hafnium in Hf
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