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      Integrated Gettering of Metalic Contaminants by Nanocavities in FZ Silicon Wafers

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      https://www.riss.kr/link?id=O38543550

      • 저자
      • 발행기관
      • 학술지명
      • 권호사항
      • 발행연도

        2000년

      • 작성언어

        eng

      • 주제어
      • Print ISSN

        1091-8213

      • 등재정보

        SCOPUS

      • 자료형태

        학술저널

      • 원정보자원

        MEETING ABSTRACTS- ELECTROCHEMICAL SOCIETY -ALL DIVISIONS-

      • 수록면

        701   [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]

      • 국제 표준도서번호

        1566773032

      • 회의자료명

        Electrochemical Society

      • 회의명

        Meeting; 198th

      • 회의장소

        Phoenix, AZ

      • 회의날짜

        2000; Oct

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