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2004년
eng
1605-7422
2410-9045
학술저널
PROCEEDINGS- SPIE THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING
65-73 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
0819452505
Micromachining and microfabrication process technology
Conference; 9th
San Jose, CA
2004; Jan
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