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예시)

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저자

Sibakov, J. ; Jarvinen, M. ; Salo, S. ; Wirtanen, G.
발행기관

Espoo, Finland; VTT
학술지명
VTT Symposium
권호사항

Vol.- No.266 [2010]
발행연도
2010년
작성언어
eng
주제어

Cleanroom technology ; Contamination control
Print ISSN
0357-9387
자료형태
학술저널
원정보자원
VTT SYMPOSIUM
수록면
199-207 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
국제 표준도서번호
9789513875954; 9789513875961
회의자료명
R3 Nordic Symposium: cleanroom technology, contamination control and cleaning
회의명
41st
회의장소
Dipoli, Finland
회의날짜
2010; May
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