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2004년
eng
0921-5107
1873-4944
SCI;SCIE;SCOPUS
학술저널
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE-
213-216 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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E-MRS 2003 Symposium I: Functional Metal Oxides-Semiconductor Structures
Hafnium silicon oxide films prepared by atomic layer deposition
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