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2010년
eng
0167-9317
1873-5568
SCI;SCIE;SCOPUS
학술저널
MICROELECTRONIC ENGINEERING
537-542 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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Inside Front Cover - Editorial Board
Tuning the dielectric constant of polymers using organic dopants
N2 effect on GaAs etching at 150mTorr capacitively-coupled Cl2/N2 plasma