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2004년
eng
1605-7422
2410-9045
학술저널
PROCEEDINGS- SPIE THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING
85-94 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
0819452556
Micromachining technology for micro-optics and nano-optics
Technical conference; 2nd
San Jose, CA
2004; Jan
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At the limit of nondispersive micro- and nanofocusing mirror optics (Invited Paper) [5347-02]
Design and fabrication of advanced EUV diffractive elements (Invited Paper) [5347-03]