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2008년
eng
1938-5862
1938-6737
학술저널
ECS TRANSACTIONS
23-28 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
9781605606651
Microfabricated and nanofabricated systems for MEMS/NEMS 8
Symposium
Honolulu, HI
2008; Oct
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HF Vapor Release Assessment to Address NEMS Applications