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      VCM을 이용한 마이크로 조립용 6자유도 정밀 정렬 장치의 설계

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      다국어 초록 (Multilingual Abstract)

      This work will develop a 6-DOF precision aligner with small size and high resolution for assembling the micro parts for a mobile electronics. Here, VCM actuator that is precise and reliable will be applied to this aligner system. Arrangement of actuat...

      This work will develop a 6-DOF precision aligner with small size and high resolution for assembling the micro parts for a mobile electronics. Here, VCM actuator that is precise and reliable will be applied to this aligner system. Arrangement of actuators will be a symmetrical based on kinematic design. This paper presents combining two modules of mechanism for the 6-DOF precision aligner. The first is a stage which can control XYθ<SUB>z</SUB> motion, and the second can control Z motion, in other words, Z tilt motion. According to its specifications, it is expected to satisfy requirement of precision. Test of the first stage was presented to show the resolution and parasitic motion. For the test, PID algorithm was applied for feed-back control system.

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      목차 (Table of Contents)

      • Abstract
      • 1. 서론
      • 2. 정렬 장치 설계
      • 3. 실험 방법
      • 4. 실험 결과
      • Abstract
      • 1. 서론
      • 2. 정렬 장치 설계
      • 3. 실험 방법
      • 4. 실험 결과
      • 5. 토의
      • 6. 향후 계획
      • 7. 결론
      • 후기
      • 참고문헌
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