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      In this study, the pumping performance of a disk-type molecular drag pump (DMDP) are experimently studied. The DMDP consists with three spirally channeled rotors and planar four stators. Namely, spiral channels of the DMDP are cut on both the upper and lower surfaces of rotors, but the stationary stators are planar. The experiments are measured with pressure around the rotors of the DMDP. The experiments are performed in the outlet pressure range of 0.2 ~ 533 Pa. The inlet pressure and compression ratio are measured under the various conditions of outlet pressure and throughputs, and nitrogen is used the test gas.
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      In this study, the pumping performance of a disk-type molecular drag pump (DMDP) are experimently studied. The DMDP consists with three spirally channeled rotors and planar four stators. Namely, spiral channels of the DMDP are cut on both the upper an...

      In this study, the pumping performance of a disk-type molecular drag pump (DMDP) are experimently studied. The DMDP consists with three spirally channeled rotors and planar four stators. Namely, spiral channels of the DMDP are cut on both the upper and lower surfaces of rotors, but the stationary stators are planar. The experiments are measured with pressure around the rotors of the DMDP. The experiments are performed in the outlet pressure range of 0.2 ~ 533 Pa. The inlet pressure and compression ratio are measured under the various conditions of outlet pressure and throughputs, and nitrogen is used the test gas.

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      목차 (Table of Contents)

      • Abstract
      • 1. 서론
      • 2. 실험 장치및 방법
      • 3. 실험 결과및 고찰
      • 4. 결론
      • Abstract
      • 1. 서론
      • 2. 실험 장치및 방법
      • 3. 실험 결과및 고찰
      • 4. 결론
      • 후기
      • 참고문헌
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