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Simulation of scanning capacitance microscopy measurements on micro-sectioned and bevelled n^+-p samples
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- 저자
- 발행기관
- 학술지명
- 권호사항
-
발행연도
2001년
-
작성언어
eng
- 주제어
-
Print ISSN
1369-8001
-
Online ISSN
1873-4081
-
등재정보
SCI;SCIE;SCOPUS
-
자료형태
학술저널
-
원정보자원
MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
-
수록면
85-88 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
-
회의자료명
Advanced characterisation of semiconductor materials; European Materials Research Society 2000 spring meeting
-
회의명
Symposium M
-
회의장소
Strasbourg, France
-
회의날짜
2000; May
- 소장기관
-
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