p형 ZnO 에피 박막을 사파이어 기판의 (0001)면 상에 RF-DC magnet co-sputtering 법으로 성장시켰다. 약 120nm두께의 단결정상 박막을 성공적으로 얻어내었다. p형 ZnO를 만들기 위해서 Al 금속 타켓을 이...
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강승민 (한서대학교) ; Kang Seung Min
2004
Korean
KCI등재,ESCI
학술저널
277-280(4쪽)
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p형 ZnO 에피 박막을 사파이어 기판의 (0001)면 상에 RF-DC magnet co-sputtering 법으로 성장시켰다. 약 120nm두께의 단결정상 박막을 성공적으로 얻어내었다. p형 ZnO를 만들기 위해서 Al 금속 타켓을 이...
p형 ZnO 에피 박막을 사파이어 기판의 (0001)면 상에 RF-DC magnet co-sputtering 법으로 성장시켰다. 약 120nm두께의 단결정상 박막을 성공적으로 얻어내었다. p형 ZnO를 만들기 위해서 Al 금속 타켓을 이용하여 DC 스퍼터링으로 $400^{\circ}C$와 $600^{\circ}C$에서 ZnO를 rf magnetron sputtering으로 증착하고, 동시에 Al의 doping을 행하였으며, 성장된 박막의 결정성과 광특성에 대하여 고찰하였다.
다국어 초록 (Multilingual Abstract)
p-ZnO films have been grown on (0001) sapphire substrates by RF-DC magnetron co-sputtering. The p-ZnO single crystalline thin films of the thickness about 120 nm were grown successfully. The dopant (Aluminum) was sputtered simultaneously from Al metal...
p-ZnO films have been grown on (0001) sapphire substrates by RF-DC magnetron co-sputtering. The p-ZnO single crystalline thin films of the thickness about 120 nm were grown successfully. The dopant (Aluminum) was sputtered simultaneously from Al metal target by DC sputtering during rf-magnetron sputtering of ZnO at the substrate temperatures of $400^{\circ}C$ and $600^{\circ}C$ respectively. The crystallinity and optical properties of as-grown P-ZnO films have been characterized.
참고문헌 (Reference)
1 M. Joseph, "p-Type electrical conduction in ZnO thin films by Ga and N codoping" 38 : 1205-, 1999
2 K. Tamura, "ZnO ultraviolet lasers" 2 : 9-, 1999
3 S.M. Kang, "ZnO film growth on sapphire substrate by RF magnetron sputtering" 14 : 215-, 2004
4 K. Ozaki, "Strong ultraviolet photoluminescence in polycrystalline ZnO sputtered films" 41 : 5614-, 2002
5 O. Agycman, "Strong ultraviolet and green emissions at room temperature from annealed ZnO thin films" 41 : 666-, 2002
6 K. Minegishi, "Growth of p-type zinc oxide films by chemical vapor deposition" 36 : 1453-, 1997
7 K. Minegishi, "Growth of P-type ZnO crystals" 12 : 41-, 1999
8 Y.S. Kang, "Effects of hydrogen on the structural and electro-optical properties of zinc oxide thin films" 147 : 4625-, 2000
9 G. Xiong, "Control of p- and n-type conductivity in sputter deposition of undoped ZnO" 80 : 1195-, 2002
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학술지 이력
연월일 | 이력구분 | 이력상세 | 등재구분 |
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2022-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (재인증) | |
2019-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (계속평가) | |
2016-01-01 | 평가 | 등재학술지 선정 (계속평가) | |
2015-12-01 | 평가 | 등재후보로 하락 (기타) | |
2012-03-29 | 학술지명변경 | 외국어명 : Jounal of Korea Associaiton of Crystal Gorwth -> Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology | |
2011-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | |
2009-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | |
2007-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | |
2005-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | |
2002-01-01 | 평가 | 등재학술지 선정 (등재후보2차) | |
1999-07-01 | 평가 | 등재후보학술지 선정 (신규평가) |
학술지 인용정보
기준연도 | WOS-KCI 통합IF(2년) | KCIF(2년) | KCIF(3년) |
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2016 | 0.24 | 0.24 | 0.23 |
KCIF(4년) | KCIF(5년) | 중심성지수(3년) | 즉시성지수 |
0.2 | 0.17 | 0.244 | 0.09 |