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Mikasa, T. ; Takahas ; ?i, Y. ; Hayakawa, K. ; Yokokura, S. ; Hasegawa, H. ; Harada, J. ; Inabe, T.
2015년
eng
0040-6090
1879-2731
SCI;SCIE;SCOPUS
학술저널
THIN SOLID FILMS
38-43 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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The use of hollow cathodes in deposition processes: A critical review
Microstructure of ZnO thin films deposited by high power impulse magnetron sputtering