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2000년
eng
0161-6374
2576-1579
학술저널
PROCEEDINGS- ELECTROCHEMICAL SOCIETY PV
142-150 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
1566772869
Microfabricated systems and MEMS; applications to storage and microelectromechanical systems (MEMS)
Symposium; 5th
Phoenix, AZ
2000; Oct
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The Microfactory System using Electrochemical Machining
Lateral Etch Study of Thin Films Using Hydrofluoric Acid Chemistries for MEMS Devices
Low Surface Tension Etching Solutions for Silicon Dioxide Removal in Microelectromechanical Systems