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1993년
eng
0272-9172
학술저널
MATERIALS RESEARCH SOCIETY SYMPOSIUM PROCEEDINGS
489-494 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
1558992332
Gas-phase and surface chemistry in electronic materials processing
Symposium; Fall meeting
Boston; MA
1993; Nov
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