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2001년
eng
학술저널
INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON PLASMA CHEMISTRY
2119-2124 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
International symposium on plasma chemistry
15th
Orleans, France
2001; Jul
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Afterglow in pure nitrogen containing chloro- and fluoro- carbon traces (PO.4.135)
Study of the pulse magnetron sputtering system with a tacitron modulator (PO.4.139)