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예시)

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저자

Hansson, B. A. M. ; Rymell, L. ; Berglund, M. ; Hemberg, O. ; Janin, E. ; Thoresen, J. ; Hertz, H. M.
발행기관

International Society for Optical Engineering; 1999
학술지명
Progress in Biomedical Optics and Imaging(SPIE Proceedings Series)
권호사항

Vol.- No.4506 [2001]
발행연도
2001년
작성언어
eng
Print ISSN
1605-7422
Online ISSN
2410-9045
자료형태
학술저널
수록면
1-8 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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Initial results from the EUV engineering test stand (Invited Paper) [4506-02]
- International Society for Optical Engineering; 1999
- Tichenor, D. A.; Ray-Chaudhuri, A. K.; Lee, S. H.; Chapman, H. N.; Replogle, W. C.; Berger, K. W.; Stulen, R. H.; Kubiak, G. D.; Klebanoff, L. E.; Wronosky, J. B.
- 2001
Design and progress in the fabrication of an EUV micro exposure tool optics for PREUVE [4506-04]
- International Society for Optical Engineering; 1999
- Geyl, R.; Tanne, J. F.
- 2001
Effect of obstructions on the design of reflective ring-field projection systems [4506-05]
- International Society for Optical Engineering; 1999
- Bal, M. F.; Biciort, F.; Braat, J. J. M.
- 2001
Upgrades to the NIST/DARPA EUV reflectometry facility [4506-06]
- International Society for Optical Engineering; 1999
- Tarrio, C.; Lucatorto, T. B.; Grantham, S.; Squires, M. B.; Arp, U.; Deng, L.
- 2001