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2005년
eng
0963-0252
1361-6595
SCI;SCIE;SCOPUS
학술저널
PLASMA SOURCES SCIENCE AND TECHNOLOGY
152-167 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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Sources and sinks of CF and CF~2 in a cc-RF CF~4-plasma under various conditions
Molecular dissociation in N~2-H~2 microwave discharges