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https://www.riss.kr/link?id=O40521831
1997년
eng
1071-9032
2158-1029
학술저널
PROCEEDINGS OF THE IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICROELECTRONIC TEST STRUCTURES
169-172 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
078033244X; 0780332431; 0780332458
Microelectronic test structures
International conference
Monterey; CA
1997; Mar
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Yield Prediction using calibrated critical area modelling
Test structures for hillock growth, via filling and for measuring the quality of thin films