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Kukli, K. ; Aarik, J. ; Uustare, T. ; Lu, J. ; Ritala, M. ; Aidla, A. ; Pung, L. ; H??rsta, A. ; Leskel??, M. ; Kikas, A.
2005년
eng
0040-6090
1879-2731
SCI;SCIE;SCOPUS
학술저널
THIN SOLID FILMS
1-11 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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Structural properties of sputter-deposited CNx/TiN multilayer films