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1999년
eng
학술저널
ADVANCED METALLIZATION CONFERENCE IN
621-626 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
1558995390
Advanced metallization conference (AMC)
Or lando, FL
1999; Sep
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The MARCO/DARPA Interconnect Focus Center
Critical Reliability Issues for sub-0.25-micron Generation Copper Wiring
Comparison of Al and Cu Metallizations for Dual Damascene Applications
Microstructure of Aluminum Damascene Interconnects Inlaid by Chemical Vapor Deposition