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2007년
eng
1938-5862
1938-6737
학술저널
ECS TRANSACTIONS
1-8 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
9781605601687 (pbk.)
Chemical mechanical polishing 8
Symposium
Cancun, Mexico
2006; Oct
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