DC 스퍼터법과 비대칭 바이폴라 펄스 DC 스퍼터법으로 증착된 TiAlN 코팅막의 물성 비교연구

다국어 초록 (Multilingual Abstract)

The paper presents the comparative results of TiAlN coatings deposited by DC and pulsed DC asymmetric bipolar magnetron sputtering systems. The results show that, with the decreasing duty cycle and increasing pulse frequency, the coating morphology changes from a columnar to a dense structure, with finer grains. Pulsed sputtered TiAlN coatings showed higher hardness, higher residual stress, and smaller grain sizes than dc prepared TiAlN coatings. Moreover residual stress of pulsed sputtered TiAlN coatings increased on increasing pulse frequency. Meanwhile, the surface roughness decreased continuously with increasing pulsed DC frequency up to 50 kHz.

목차 (Table of Contents)

• ABSTRACT
• 1. 서론
• 2. 실험방법
• 3. 결과 및 고찰
• 4. 결론
• References

참고문헌 (Reference)

1 K. Bobzin, 515 : 3681-, 2007

2 J. M. Lee, 22 : 585-, 2012

3 L. Hultman, 61 : 552-, 1987

4 A. Pan, 78 : 25-34, 1981

5 D. W. Hoffmann, 107 : 353-358, 1983

6 S. Hogmark, 246 : 20-, 2000

7 L. Persano, 14 : 1951-, 2006

8 J. L. Gomez, 48 : 612-, 2013

9 A. Moustaghfir, 180–181 : 642-, 2004

10 J. Baumann, 37 : 229-, 1997

11 D. H. Yu, 255 : 1865-, 2008

12 S. Y. Tan, 519 : 2116-, 2011

13 J. Sellers, 98 : 1245-, 1998

14 H. C. Barshilia, 201 : 1827-, 2006

15 I. Petrov, 21 : 774-, 2003

16 N. Maazi, 243 : 361-, 2002

17 H. C. Barshilia, 83 : 427-, 2009

18 M. Ahlgren, 200 : 157-, 2005

19 I. Petrov, 169 : 299-, 1989

20 C. P. Constable, 184 : 291-297, 2004

21 이상율, "비대칭 스퍼터링에 의한 TiAlN/CrN 나노 다층 박막의 합성 및 특성 분석에 관한 연구" 한국표면공학회 38 (38): 207-211, 2005

22 김성원, "나노인덴테이션으로 측정한 Ti(C0.7N0.3)-WC-Ni 써멧 구성상의 경도" 한국세라믹학회 46 (46): 116-121, 2009

23 심응식, "TiAl계 XD45, XD47 금속간 화합물의 고온산화거동" 한국표면공학회 35 (35): 193-198, 2002

24 전성용, "DC 스퍼터법과 비대칭 바이폴라 펄스 DC 스퍼터법으로 제작된 CrN 코팅막의 물성 비교연구" 한국표면공학회 47 (47): 86-92, 2014

25 김민석, "6xxx계 알루미늄합금의 압출 금형용 SKD61 강재에 증착된 TiAlN, CrAlN 박막의 마찰․마모에 대한 연구" 한국표면공학회 43 (43): 278-282, 2010