PFA 라인드 볼밸브(PFA lined ball valve)는 고온(~120℃), 고압(~10bar)의 환경에서 위험도가 높고 강한 부식성을 갖는 염산, 황산, 질산 등의 화학물질 이송이 필요한 반도체, LCD 및 화학제품 제조공정...
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국문 초록 (Abstract)
PFA 라인드 볼밸브(PFA lined ball valve)는 고온(~120℃), 고압(~10bar)의 환경에서 위험도가 높고 강한 부식성을 갖는 염산, 황산, 질산 등의 화학물질 이송이 필요한 반도체, LCD 및 화학제품 제조공정...
PFA 라인드 볼밸브(PFA lined ball valve)는 고온(~120℃), 고압(~10bar)의 환경에서 위험도가 높고 강한 부식성을 갖는 염산, 황산, 질산 등의 화학물질 이송이 필요한 반도체, LCD 및 화학제품 제조공정의 배관 시스템에 주로 적용되고 있다. 시트 누설(seat leakage)은 볼밸브가 닫혀 있는 상태에서 PFA 라인드 볼과 PTFE 시트링(seat ring) 사이의 틈새를 통한 밸브 전후로의 누설이다. 본 논문에서는 기포 관측(bubble observation), 가스 유량 측정, 헬륨 질량 분석 등 3가지 방법을 PFA 라인드 볼밸브의 시트 누설 측정에 적용하였고, 각각의 누설률(leak rate) 측정 결과를 동일한 단위로 환산하여 검토하였다.
Photolithography with single mask for the shape modulation of micropatterns
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