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K. Yamauchi ; K. Yamamura ; H. Mimura ; Y. Sano ; A. Saito ; K. Endo ; A. Souvorov ; M. Yabashi ; K. Tamasaku ; T. Ishikawa ; Y. Mori
2003년
eng
0021-4922
1347-4065
SCI;SCIE;SCOPUS
학술저널
Japanese Journal of Applied Physics Part 1-Regular Papers Brief Communications & Review Papers
7129-7134 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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Analysis of defects in polycrystalline silicon thin films using Raman scattering spectroscopy
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