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      FR-17 A Personal Historical Perspective of Ion Implantation Equipment for Semiconductor Applications

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      https://www.riss.kr/link?id=O36884677

      • 저자
      • 발행기관
      • 학술지명
      • 권호사항
      • 발행연도

        2000년

      • 작성언어

        eng

      • 주제어
      • 자료형태

        학술저널

      • 원정보자원

        ION IMPLANTATION TECHNOLOGY- INTERNATIONAL CONFERENCE-

      • 수록면

        1-19   [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]

      • 국제 표준도서번호

        0780364627

      • 회의자료명

        Ion implantation technology

      • 회의명

        International conference; 13th

      • 회의장소

        Alpbach, Austria

      • 회의날짜

        2000; Sep

      • ⓒ COPYRIGHT THE BRITISH LIBRARY BOARD: ALL RIGHT RESERVED

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