- 1. 서론
- 2. 실험장비와 방법
- 3. 실험계획
- 4. 신경회로망을 이용한 플라즈미 식각공정의 모델링
- 5. 신경회로망 모델의 최적화
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1994
Korean
003
학술저널
991-996(6쪽)
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