레이저 투사를 통해 역학적으로 변형 된 이황화몰리브덴의 특성 연구 = Selective deformation of MoS2 by illuminating laser

국문 초록 (Abstract)

전이금속 칼코겐화합물(TMD: Transition Metal Dichalcogenides)은 2차원 물질이고 구조적으로 안정적이며 실리콘에 뒤지지 않는 고이동도를 가져 유연 및 투명 소자나 광전자 소자 응용 가능성을 가지고 있어 주목을 받고 있다. 이황화몰리브덴은 대표적인 전이금속 칼코겐화합물로 많은 연구가 진행되고 있다. 본 연구에서는 레이저 투사를 통해 역학적으로 이황화몰리브덴을 변형시켰다. SiO2 기판과 이황화몰리브덴의 열팽창 계수가 다르기 때문에 이황화몰리브덴이 레이저 투사를 통해 역학적으로 변형된다. 단일 겹의 이황화몰리브덴에 레이저 투사를 통해 주기적으로 변형 된 구조를 만들었다. 레이저 투사를 통해 역학적으로 변형 된 이황화몰리브덴의 특성을 연구하기 위해 Raman과 AFM 측정을 통해 역학적 변형을 확인하였고 소자를 제작하여 전기적 특성을 조사하였다. 레이저 투사를 통한 역학적 변형은 2차원 물질 응용에 있어서 많은 가능성을 제시 할 것이다.

다국어 초록 (Multilingual Abstract)

Layered transition metal dichalcogenides attracted a great deal of interest because of their attractive electronic, optoelectronic, and mechanical properties. MoS2 is a typical example of the layered transition metal dichalcogenides. In this thesis we selectively deform the monolayer MoS2 by illuminating laser. The difference in the coefficient of thermal expansion between MoS2 and SiO2 substrate results in the deformation. In addition, we bring attention to the periodic modulation of the structure generated in the monolayer by the laser irradiation. We used Raman spectroscopy to evaluate the strain in MoS2, and investigated the effect of deformation in electrical properties. Strain engineering in MoS2 can open up many applications such as optics, electronics, optoelectronics, photovoltaics, and surface science.

목차 (Table of Contents)

• 제1장 서론 1
• 제2장 실험 배경 2
• 제1절 이황화몰리브덴 2
• 제2절 레이저 투사를 통한 역학적 변형 4
• 제3장 실험 방법 6
• 제1절 제작 공정 및 방법 6
• 1. 역학적 박리법 6
• 2. 화학기상증착법 7
• 3. 마이크로 접합 전사 8
• 4. 전자빔 리소그래피 & 전자빔 증착기 9
• 제2절 측정법 12
• 1. 라만 분광법 12
• 2. 원자 힘 현미경 14
• 3. 전계방사형 주사현미경 15
• 4. 전류/전압 측정 16
• 제4장 실험 결과 17
• 제1절 여러 겹의 이황화몰리브덴 17
• 제2절 한 겹의 이황화몰리브덴 22
• 제3절 한 겹의 CVD 이황화몰리브덴 28
• 제5장 결론 33
• 참고문헌 34
• 국문초록 36