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      AES characterization and depth profiles measurements of AIN thin films on SiO~2 substrates

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      • 저자
      • 발행기관
      • 학술지명
      • 권호사항
      • 발행연도

        1993년

      • 작성언어

        eng

      • 주제어
      • Print ISSN

        1951-6355

      • Online ISSN

        1951-6401

      • 등재정보

        SCI;SCIE;SCOPUS

      • 자료형태

        학술저널

      • 원정보자원

        JOURNAL DE PHYSIQUE 4

      • 수록면

        C3-171-C3-176   [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]

      • 국제 표준도서번호

        2868831931

      • 회의자료명

        Chemical vapour deposition

      • 회의명

        9th European conference

      • 회의장소

        Tampere; Finland

      • 회의날짜

        1993; Aug

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