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1996년
eng
학술저널
ADVANCED METALLIZATION FOR ULSI APPLICATIONS
199-202 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
1558993851
Advanced metallization and interconnect systems for ULSI applications
Conference; 13th
Boston; MA
1996; Oct
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