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2000년
-
0734-2101
1520-8559
SCI;SCIE;SCOPUS
학술저널
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY A VACUUMS SURFACES AND FILMS
149-157 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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Study on polymeric neutral species in high-density fluorocarbon plasmas
Precursor chemistry and film growth with (methylcyclopentadienyl) (1,5-cyclooctadiene)iridium
Ionization enhancement in ionized magnetron sputter deposition