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      Deposition of (Ti,Cr)N-MoS₂ Thin Films by D.C Magnetron Sputtering

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      https://www.riss.kr/link?id=A76181540

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      As technology advances, there is a demand for development of hard, solid lubricant coating. (Ti,Cr)NMoS₂ films were deposited on SKD 11 tool steel substrate by co-deposition of MoS₂ with (Ti,Cr)N using a D.C. magnetron sputtering process. The influence of the N₂/Ar gas ratio, the deposition temperature, the amount of MoS₂ in the films, and the bias voltage on the mechanical and the structural properties of the films were investigated. Wear tests were performed on the films deposited in various conditions.
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      As technology advances, there is a demand for development of hard, solid lubricant coating. (Ti,Cr)NMoS₂ films were deposited on SKD 11 tool steel substrate by co-deposition of MoS₂ with (Ti,Cr)N using a D.C. magnetron sputtering process. The infl...

      As technology advances, there is a demand for development of hard, solid lubricant coating. (Ti,Cr)NMoS₂ films were deposited on SKD 11 tool steel substrate by co-deposition of MoS₂ with (Ti,Cr)N using a D.C. magnetron sputtering process. The influence of the N₂/Ar gas ratio, the deposition temperature, the amount of MoS₂ in the films, and the bias voltage on the mechanical and the structural properties of the films were investigated. Wear tests were performed on the films deposited in various conditions.

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      목차 (Table of Contents)

      • Abstract
      • 1. Introduction
      • 2. Experimental Procedures
      • 3. Results and Discussion
      • 4. Conclusion
      • Abstract
      • 1. Introduction
      • 2. Experimental Procedures
      • 3. Results and Discussion
      • 4. Conclusion
      • Acknowledgement
      • References
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