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https://www.riss.kr/link?id=O138882009
1995년
eng
0734-2101
1520-8559
SCI;SCIE;SCOPUS
학술저널
Journal of Vacuum Science & Technology A
1239-1246 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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