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예시)

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저자

Rolland, P. A. ; Haese, N. ; Dhondt, F.
발행기관

Springer-Verlag
학술지명
INTERNATIONAL CONFERENCE ON SIMULATION OF SEMICONDUCTOR PROCESSES AND DEVICES
권호사항

Vol.9 No.- [1998]
발행연도
1998년
작성언어
eng
주제어

simulation ; semiconductor processes
자료형태
학술저널
원정보자원
INTERNATIONAL CONFERENCE ON SIMULATION OF SEMICONDUCTOR PROCESSES AND DEVICES
수록면
59-60 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
국제 표준도서번호
3211832084
회의자료명
Simulation of semiconductor processes and devices
회의명
International conference
회의장소
Leuven; Belgium
회의날짜
1998; Sep
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