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      목차 (Table of Contents)

      • Ⅰ. INTRODUCTION
      • Ⅱ. MEMS OPTICAL SWITCHES
      • - Bypass optical switch
      • - Scalable 2-dim optical switch
      • - 3-dim optical switch
      • Ⅰ. INTRODUCTION
      • Ⅱ. MEMS OPTICAL SWITCHES
      • - Bypass optical switch
      • - Scalable 2-dim optical switch
      • - 3-dim optical switch
      • Ⅲ. MICROMECHANICS
      • - Scaling effects
      • - Nonlinear vibration
      • - Latch up
      • Ⅳ. MEMS FABRICATION
      • - Release process
      • - Conformal metallization
      • - Packaging of Optical MEMS
      • Ⅴ. SUMMARY
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