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2001년
eng
학술저널
IMAPS -PROCEEDINGS- CD-ROM EDITION-
515-522 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
0930815645 (CD-ROM)
International symposium on microelectronics; IMAPS 2001
34th
Baltimore, MD
2001; Oct
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Overview on CMOS MEMS Fabrication Techniques and Applications
MEMS in Aerospace Applications - Thermal Control Shutters
Micro-Scale Avionics Thermal Management