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Bojko, R.J. ; Li, J. ; He, L. ; Baehr-Jones, T. ; Hochberg, M. ; Aida, Y.
2011년
eng
2166-2746
2166-2754
SCIE
학술저널
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY B MICROELECTRONICS AND NANOMETER STRUCTURES
06F309 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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