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      • 저자
      • 발행기관
      • 학술지명
      • 권호사항
      • 발행연도

        1994년

      • 작성언어

        dut

      • 주제어
      • Print ISSN

        0167-9317

      • Online ISSN

        1873-5568

      • 등재정보

        SCI;SCIE;SCOPUS

      • 자료형태

        학술저널

      • 원정보자원

        MICROELECTRONIC ENGINEERING

      • 수록면

        267-270   [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]

      • 회의자료명

        Micro and nano-engineering 94

      • 회의명

        International conference on micro and nanofabrication

      • 회의장소

        Davos; Switzerland

      • 회의날짜

        1994; Sep

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