Mn이 첨가된 ZnGa$_2$O$_4$ 형광체 박막을 산소 분압 100 mTorr에서
기판 온도를 500 $^\circ$C, 600 $^\circ$C, 700 $^\circ$C로
변화시키며 MgO(100) 기판 위에 펄스 레이저 증착법을 이용하여
증착시켰고, 이...
Mn이 첨가된 ZnGa$_2$O$_4$ 형광체 박막을 산소 분압 100 mTorr에서
기판 온도를 500 $^\circ$C, 600 $^\circ$C, 700 $^\circ$C로
변화시키며 MgO(100) 기판 위에 펄스 레이저 증착법을 이용하여
증착시켰고, 이렇게 증착되어진 형광체 박막에 대한 결정 구조,
표면형상과 발광 특성을 조사하였다. X-선 회절 실험 결과, 600
$^\circ$C이상의 증착 온도에서 Ga$_2$O$_3$ 상이 나타남을
확인하였고, Mn$^{2+}$에 대한 발광 스펙트럼은 465 nm에서 570
nm까지의 영역에서 형광 스펙트럼을 가지며 509 nm에서 최고 피크값을
나타내었다. 형광의 세기가 기판 온도에 의존하는 경향을 보였고, 증착
온도가 600 $^\circ$C 일 때가 형광 스펙트럼의 강도가 가장 높게
나타남을 확인하였다.