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https://www.riss.kr/link?id=O40546502
1999년
eng
1078-8743
2376-6697
SCOPUS
학술저널
IEEE SEMI ADVANCED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CONFERENCE AND WORKSHOP
233-238 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
0780352173; 0780352181; 078035219X
Advanced semiconductor manufacturing conference
10th
Boston; MA
1999; Sep
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