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2006년
eng
0734-2101
1520-8559
SCI;SCIE;SCOPUS
학술저널
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY A VACUUMS SURFACES AND FILMS
875-878 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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Analysis of unstable species in cyclo-C~4F~8 plasma by ion attachment mass spectrometry
Characterization of facing-target reactive sputtered polycrystalline Fe~3O~4 films