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2006년
eng
학술저널
ASME -PUBLICATIONS- MEMS
661-668 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
9780791847756; 0791847756
Micro-electro-mechanical systems
Conference
Chicago, IL
2006; Nov
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