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1996년
eng
0161-6374
2576-1579
학술저널
PROCEEDINGS- ELECTROCHEMICAL SOCIETY PV
422-431 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
1566771536
Silicon-on-insulator technology and devices
International symposium; 7th
Los Angeles; CA
1996; May
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Invited Paper: Invisible defects in SOI, their process dependence and characterisation
Electrochemical analysis of SIMOX buried oxides
Development of all ion implanter for SIMOX wafer volume production
Physical phenomena involved in the Smart Cut process