1 T. Makabe, "in Advences in Low Temperature RF plasmas" 2002
2 T. E. F. M. Standaert,, "Vac. Sci. Technol. A19, 435" J. Vac. Sci. Technol.A19 435-, 2001
3 San Jose, "The International Technology Roadmap for Semiconductors" 1991
4 K. Maeda, "Petrovic" 55 : 5901-, 1997
5 G. S. Oehrlein, "Low Dielectric Materials for IC Applications" 2003
6 S. T. Chen, "Electrochem" Solid-State Lett. 2003
7 "Association of Super-Advanced Electronics Technologies" 2002
8 T. Makabe, "Advences in Low Temperature RF plasmas" 2002
9 B. Gordiets, "1967년 12월 15일생. 1991년 서울대 공대 원자핵공학과 졸업 . 1996년 포항공대 물리학과 대학원 졸업 . 2001년 3월-11월 포항공대 박사후 연구원. 2001년 11월-2003년 11월 게이오대학 연구원. 2003년 11월-현재 한국전기연구원 전기물리연구그룹 선임연구원.Tel" . 2001년 동대학원 졸업 7 : 363-, 1998
1 T. Makabe, "in Advences in Low Temperature RF plasmas" 2002
2 T. E. F. M. Standaert,, "Vac. Sci. Technol. A19, 435" J. Vac. Sci. Technol.A19 435-, 2001
3 San Jose, "The International Technology Roadmap for Semiconductors" 1991
4 K. Maeda, "Petrovic" 55 : 5901-, 1997
5 G. S. Oehrlein, "Low Dielectric Materials for IC Applications" 2003
6 S. T. Chen, "Electrochem" Solid-State Lett. 2003
7 "Association of Super-Advanced Electronics Technologies" 2002
8 T. Makabe, "Advences in Low Temperature RF plasmas" 2002
9 B. Gordiets, "1967년 12월 15일생. 1991년 서울대 공대 원자핵공학과 졸업 . 1996년 포항공대 물리학과 대학원 졸업 . 2001년 3월-11월 포항공대 박사후 연구원. 2001년 11월-2003년 11월 게이오대학 연구원. 2003년 11월-현재 한국전기연구원 전기물리연구그룹 선임연구원.Tel" . 2001년 동대학원 졸업 7 : 363-, 1998