금속전구체수용액 기반 화학기상증착법에서 유기물 계면활성제의 사용은 균일하고 대면적 WS<sub>2</sub>의 성장에 필수적이지만 불완전하게 분해된 유기물 계면활성제는 성장의 장...
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2021
Korean
420
학술저널
152-152(1쪽)
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금속전구체수용액 기반 화학기상증착법에서 유기물 계면활성제의 사용은 균일하고 대면적 WS<sub>2</sub>의 성장에 필수적이지만 불완전하게 분해된 유기물 계면활성제는 성장의 장...
금속전구체수용액 기반 화학기상증착법에서 유기물 계면활성제의 사용은 균일하고 대면적 WS<sub>2</sub>의 성장에 필수적이지만 불완전하게 분해된 유기물 계면활성제는 성장의 장벽으로 작용한다[1]. 이에 본 연구에서는 수용액 기반 WS<sub>2</sub>의 공정에서 O<sub>2</sub> 사전 열처리를 도입하여 유기물 계면활성제의 분해에 대한 효과를 연구하였다. 300℃이상의 O<sub>2</sub> 사전 열처리에서는 유기물 계면 활성제에서 분해된 잔루탄소가 크게 감소되어 대면적 WS<sub>2</sub> 가 성장되었다. 또한 O<sup>2</sup> 가스 유량에 따라 삼각형에서 육각형 WS<sub>2</sub>로 제어되었다. 최적화된 O<sub>2</sub> 사전 열처리 공정을 도입하여 유기 잔류물의 방해없이 O<sub>2</sub> 가스 유량에 따른 WS<sub>2</sub>의 형상제어방법을 제시한다.
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