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      (Invited) Recent Advances in the Smart Cut Technology for CMOS Applications

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      • 저자
      • 발행기관
      • 학술지명
      • 권호사항
      • 발행연도

        2010년

      • 작성언어

        eng

      • 주제어
      • Print ISSN

        1938-5862

      • Online ISSN

        1938-6737

      • 자료형태

        학술저널

      • 원정보자원

        ECS TRANSACTIONS

      • 수록면

        23-36   [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]

      • 국제 표준도서번호

        9781607681809 (pbk.); 9781566778305 (PDF)

      • 회의자료명

        High purity silicon

      • 회의명

        Symposium; 11th

      • 회의장소

        Las Vegas, NV

      • 회의날짜

        2010; Oct

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