$SiN_x$ 박막을 $200^{\circ}C$의 저온에서 $SiH_4$ 가스의 흐름 비율을 바꾸어 가며 PECVD 기법으로 성장하였다. 시료의 광 특성을 규명하기 위하여 상온 광 발광 스펙트럼을 측정하였다. 성장 시 $SiH_...
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이경수 (서울시립대학교) ; 김은겸 (한국과학기술연구원) ; 손대호 (서울시립대학교) ; 김정호 (서울시립대학교) ; 임태경 (서울시립대학교) ; 안승만 (서울시립대학교) ; 박경완 (서울시립대학교) ; Lee, Kyung-Su ; Kim, Eun-Kyeom ; Son, Dae-Ho ; Kim, Jeong-Ho ; Yim, Tae-Kyung ; An, Seung-Man ; Park, Kyoung-Wan
2011
Korean
광 특성 ; 실리콘 나이트라이드 ; 실리콘 나노점 ; 비접합 결함 ; 결함 ; 플라즈마 화학기상 증착법 ; 광 발광 ; 저온 성장 ; 열처리
KCI등재,SCOPUS,ESCI
학술저널
42-49(8쪽)
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다운로드국문 초록 (Abstract)
$SiN_x$ 박막을 $200^{\circ}C$의 저온에서 $SiH_4$ 가스의 흐름 비율을 바꾸어 가며 PECVD 기법으로 성장하였다. 시료의 광 특성을 규명하기 위하여 상온 광 발광 스펙트럼을 측정하였다. 성장 시 $SiH_...
$SiN_x$ 박막을 $200^{\circ}C$의 저온에서 $SiH_4$ 가스의 흐름 비율을 바꾸어 가며 PECVD 기법으로 성장하였다. 시료의 광 특성을 규명하기 위하여 상온 광 발광 스펙트럼을 측정하였다. 성장 시 $SiH_4$ 가스의 흐름 비율이 증가함에 따라 시료의 발광 최대치 파장이 장파장으로 이동하였으나, $SiH_4$ 가스의 흐름 비율과 무관하게 모든 시료에서 1.8, 1.9, 2.2, 2.4, 그리고 3.1 eV 에너지의 발광 현상을 관찰하였다. $N_2$, $H_2$, 그리고 $O_2$ 가스 분위기에서 후열처리를 거친 후, 발광 스펙트럼의 변화를 조사하였다. 열처리 후의 발광 세기는 증가하였고, 특히, $H_2$ 및 $O_2$가스 열처리로 인하여 발광 최대치 파장이 단파장으로 이동하였으나, 특정한 파장에서 발광효과는 여전히 존재하였다. 발광 메카니즘에 대하여, $SiN_x$ 박막의 에너지 갭 내에 Si와 N 원자의 비결합 결함에 의한 에너지 준위 모델을 설정하였고, 이 에너지 준위의 천이에 의한 발광으로 이해하였다. 그리고 저온에서 성장한 $SiN_x$ 박막의 발광 효과는 앞으로 구부러짐이 가능한 Si 계 광소자 개발 가능성을 보여주고 있다.
다국어 초록 (Multilingual Abstract)
We deposited $SiN_x$ thin films by using PECVD technique at $200^{\circ}C$ with various flow ratios of the $SiH_4/N_2$ gases. The photoluminescence measurements revealed that the maximum emission wavelength shifted to long wavelength as the ratio incr...
We deposited $SiN_x$ thin films by using PECVD technique at $200^{\circ}C$ with various flow ratios of the $SiH_4/N_2$ gases. The photoluminescence measurements revealed that the maximum emission wavelength shifted to long wavelength as the ratio increased, however, positions of the several peak wavelengths, such as 1.9, 2.2, 2.4, and 3.1 eV, were independent on the ratio. Changes of the photoluminescence spectra were measured in the $N_{2}-$, $H_{2}-$, and $O_2$-annealed films. The luminescence intensities increased after the annealing process. In particular, the maximum emission wavelength shifted to short wavelength after $H_{2}-$ or $O_2$-annealing. But there were still several peaks on the spectra of all annealed films, several peak positions remained to be unchanged after the annealing. As for the light emission mechanism, we have considered the defect states of the Si- and N- dangling bonds in the $SiN_x$ energy gap, so that the energy transitions from/to the conduction/valence bands and the defect states in the gap were attributed to the light emission in the $SiN_x$ films. The experimental results point to the possibility of a Si-based light emission materials for flexible Si-based electro-optic devices.
참고문헌 (Reference)
1 L. T. Canham, 408 : 411-, 2000
2 J. Robertson, 54 : 4490-, 1983
3 P. A. Pundur, 94 : K107-, 1986
4 A. Iqbal, 61 : 2947-, 1987
5 K. -M. Lee, 60 : 703-, 2009
6 E. Holzenkampfer, 32 : 327-, 1979
7 J. Robertson, 44 : 415-, 1984
8 L. Pavesi, 408 : 440-, 2000
9 J. Ruan, 83 : 5479-, 2003
10 M. J. Chen, 84 : 2163-, 2004
1 L. T. Canham, 408 : 411-, 2000
2 J. Robertson, 54 : 4490-, 1983
3 P. A. Pundur, 94 : K107-, 1986
4 A. Iqbal, 61 : 2947-, 1987
5 K. -M. Lee, 60 : 703-, 2009
6 E. Holzenkampfer, 32 : 327-, 1979
7 J. Robertson, 44 : 415-, 1984
8 L. Pavesi, 408 : 440-, 2000
9 J. Ruan, 83 : 5479-, 2003
10 M. J. Chen, 84 : 2163-, 2004
11 K. S. Min, 69 : 2033-, 1996
12 H. Z. Song, 55 : 6988-, 1977
13 N. -M. Park, 86 : 1355-, 2001
14 B. -H. Kim, 86 : 091908-, 2005
15 G. F. Grom, 407 : 358-, 2000
16 M. Zacharias, 80 : 661-, 2002
17 M. V. Wolkin, 82 : 197-, 1999
18 K. H. Park, 39 : S283-, 2001
19 M. -G. Kim, 38 : 750-, 2001
20 M. Wang, 90 : 131903-, 2007
21 S. Fujita, 132 : 398-, 1985
22 W. L. Warren, 65 : 207-, 1991
23 T. Shimizu, 59 : 117-, 1985
24 C. -F. Lin, 87 : 2808-, 2000
25 Jun-Sung Bae, "Visible photoluminescence from Si nanocrystals in Si/SiO2 multilayers grown by ion beam sputtering" 한국물리학회 43 (43): 557-560, 2003
26 Young Ju Park, "Optical properties of multilayer SiNx/SiNy structures prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition" 한국물리학회 44 (44): 700-5, 2004
27 Sol Lee, "Nanocrystalline Si Formation by Pulsed Laser Deposition/Annealing Techniques and Its Charge Storage Effect" 한국물리학회 51 (51): 308-312, 2007
28 D. J. Lockwook, "Light Emission in Silicon: From physics to Device" Academic Press 1998
29 Jung Hyun Kang, "Electroluminescence properties of nanocrystal Si/SiO2 superlattice grown by rapid thermal chemical vapor deposition" 한국물리학회 45 (45): 1065-1068, 2004
30 Changhun Ko, "Annealing Effects on the Photoluminescence of Amorphous Silicon-Nitride Films" 한국물리학회 48 (48): 1277-1280, 2006
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학술지 이력
연월일 | 이력구분 | 이력상세 | 등재구분 |
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2022 | 평가예정 | 계속평가 신청대상 (등재유지) | |
2017-01-01 | 평가 | 우수등재학술지 선정 (계속평가) | |
2014-06-16 | 학술지명변경 | 한글명 : Applied Science and Convergence Technology -> 한국진공학회지 | |
2014-02-06 | 학술지명변경 | 한글명 : ASCT -> Applied Science and Convergence Technology | |
2014-02-05 | 학술지명변경 | 한글명 : 한국진공학회지 -> ASCT외국어명 : Journal of the Koren Vacuum Society -> Applied Science and Convergence Technology | |
2014-01-01 | 학술지명변경 | 한글명 : 한국진공학회지 -> Applied Science and Convergence Technology | |
2013-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | |
2010-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | |
2008-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | |
2005-05-23 | 학술지명변경 | 외국어명 : Journal of the Koren Cacuum Society -> Journal of the Koren Vacuum Society | |
2005-01-01 | 평가 | 등재학술지 선정 (등재후보2차) | |
2004-01-01 | 평가 | 등재후보 1차 PASS (등재후보1차) | |
2003-01-01 | 평가 | 등재후보학술지 선정 (신규평가) |
학술지 인용정보
기준연도 | WOS-KCI 통합IF(2년) | KCIF(2년) | KCIF(3년) |
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2016 | 0.12 | 0.12 | 0.15 |
KCIF(4년) | KCIF(5년) | 중심성지수(3년) | 즉시성지수 |
0.13 | 0.1 | 0.328 | 0.03 |