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NDRO FRAM 소자를 위한 Pt / SrBi₂Ta₂O9 / ZrO₂ / Si 구조의 특성에 관한 연구
김은홍(Eun Hong Kim), 최훈상(Hoon Sang Choi),최인훈(In-Hoon Choi) 한국진공학회(ASCT) 2000 p.315-320
LPCVD로 증착한 텅스텐 박막의 증착 조건 제어에 의한 접착성 및 저항 특성 향상
노관종(Kwanchong Roh), 윤선필(Sunpil Youn),윤영수(Youngsu Youn),노용한(Yonghan Roh) 한국진공학회(ASCT) 2000 p.321-327
ECR - PECVD 방법으로 제작된 DLC 박막의 기판 Bias 전압 효과
손영호(Young Ho Son), 정우철(Woo Chul Jung),정재인(Jae In Jeong),박노길(No Gill Park),김인수(In Soo Kim),김기홍(Ki Hong Kim),배인호(In Ho Bae) 한국진공학회(ASCT) 2000 p.328-334
Co / Si 시스템에서 capping layer에 따른 코발트 실리사이드 박막의 형성에 관한 연구
김해영(H. Y. Kim), 김상연(S. Y. Kim),고대홍(D. H. Ko),최철준(C. J. Choi),김철성(C. S. Kim),구자흠(J. H. Ku),최시영(S. Y. Choi),Kazuyuki Fujihara(K. Fujihara),강호규(H. K. Kang) 한국진공학회(ASCT) 2000 p.335-340
증착조건 및 열처리조건에 따른 ZrO₂ 박막의 미세구조와 전기적 특성에 관한 연구
유정호(J. H. Yoo), 남석우(S. W. Nam),고대홍(D. H. Ko),오상호(S. H. Oh),박찬경(C G. Park) 한국진공학회(ASCT) 2000 p.341-345
강성관(S. K. Kang), 고대홍(D.-H. Ko),오상호(S. H. Oh),박찬경(C. K. Park),이기철(K. C. Lee),양두영(D. Y. Yang),안태항(T. H. Ahn),주문식(M. S. Joo) 한국진공학회(ASCT) 2000 p.346-352
마그네트론 스퍼터링법으로 제조한 P형 (Bi₁-xSbx)₂Te₃ 박막의 결정성과 열전특성
연대중(Dae Joong Yeon), 오태성(Tae Sung Oh) 한국진공학회(ASCT) 2000 p.353-359
LSMCD 공정으로 제조한 SBT 박막의 Sr / Ta 몰비에 따른 강유전 특성
박주동(Joo Dong Park), 김지웅(Ji Woong Kim),오태성(Tae Sung Oh) 한국진공학회(ASCT) 2000 p.360-366
대향타켓식 스퍼터법으로 증착된 ZnO / Glass 박막의 결정학적 특성에 관한 연구
금민종(M. J. Keum), 성하윤(H. Y. Seong),손인환(I. H. Son),김경환(K. H. Kim) 한국진공학회(ASCT) 2000 p.367-372
MOCVD Bi₄Ti₃O₁₂ 박막의 실리콘 위에서의 증착기구 및 유기 금속원료의 펄스주입법에 의한 박막 특성 개선
이석규(Seok Kiu Lee), 김준형(Joon Hyeong Kim),최두현(Doo Hyun Choi),황민욱(Min Wook Hwang),엄명윤(Myung Yoon Um),김윤해(Yoon Hae Kim),김진용(Jin Yong Kim),김형준(Hyeong Joon Kim) 한국진공학회(ASCT) 2000 p.373-378
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