반도체 공정 칠러의 대용특성에 의한 품질수준 산출 사례

국문 초록 (Abstract)

기업은 고객의 요구사항을 만족시키는 제품을 공급함으로써 이익이 발생하며 이로 인해 고객의 요구사항을 만족시키는 제품을 생산하고자 노력하고 있다. 고객의 요구사항은 정성적 표현이 많아 제품의 규격에 곧바로 적용되기는 매우 힘든 것이 현실이며 이러한 문제점을 해결하기 위하여 기업은 설문조사, 벤치마킹 등을 통하여 측정가능한 품질특성으로 전환하여 검사에 활용하려고 노력하고 있다. 품질특성은 정성적인 참특성이 대부분이며 고객은 제조과정에서의 공정특성을 대부분 이해하지 못하기 때문이다.
반도체 공정용 냉수공급기(이하 Chiller, 칠러)는 부하 별 제어범위(=설정온도±0.1도)를 고객이 요구하고 있으나 측정기의 정밀도(±0.1도)가 규격과 동일하여 제품의 품질을 평가하거나 품질수준을 산출하는 것이 어려운 것이 현실이다. 이에 대해 칠러의 운전상태를 모니터링하여 부하 별 칠러의 온도 제어범위에 관계가 있는 부품의 제어값을 대용 특성으로 선정하고 이를 활용하여 제품을 판단하고 더불어 인수검사로 확인이 어려운 제품의 특성을 파악함과 동시에 현장에서 운용할 때의 기준을 제시하고자 하였다.
본 논문에서는 고객이 요구하는 참특성을 대용특성으로 전환하여 최종완성검사의 기준으로 활용하여 부품의 인수검사 기준과 더불어 부품의 조합에 의한 제품의 품질수준을 측정하고 이를 검사기준 및 운용기준으로 활용하고자 한다.